Microsonde électronique EPMA Etablissement

EPMA : Electron Probe Micro Analysis est également connu sous le nom de microsonde de Castaing. C’est une technique d’analyse in situ non destructive permettant de détecter tous les éléments à partir du Béryllium dans un volume de l’ordre du micromètre cube avec une sensibilité d’environ 100 ppm. La microsonde électronique analyse l’émission X produite par l’interaction entre des électrons incidents et les éléments constituant le matériau à analyser. D’autres produits de cette interaction peuvent être également exploités dans le même appareil. L’émission X issue du matériau est analysée dans le cas de l’EPMA par quatre spectromètres à dispersion de longueur d’onde (WDS : Wave Length Dispersion Spectrometer). Ce type de spectromètre est constitué d’un cristal monochromateur, d’un compteur proportionnel à flux gazeux et d’une chaîne de comptage. Pour une longueur d’onde donnée, la source de rayons X (un point d’analyse à la surface de l’échantillon), le cristal monochromateur et le compteur sont situés en trois points sur le cercle de focalisation ou cercle de Rowland