Dual Beam MEB / FIB Etablissement
Matériaux Laghouat 294 vues Référence : 219
Localité : Laghouat
Le système ThermoScientifcScios 2 DualBeamest un système analytique ultra-haute résolution qui offre une préparation d'échantillons et performances de caractérisation 3D pour une plus large gamme d'échantillons, Donc,c’est un microscope électronique à double faisceaux »colonnes» (électronique et ionique), l’angle entre les deux colonnes est de 52°.
Le Scios 2, équipement très important pour la préparation des échantillons à d’éventuelles analyses au TEM/STEM.
Caractéristiques techniques
- 0,7 nm à 30 keV STEM; 1,4 nm à 1 keV; 1,2 nm à 1 keV.
- Système de détection Trinity (dans l'objectif et dans la colonne), T1, T2, T3; signaux détectés; ETD; ICE pour SI et SE *; DBS *; STEM 3+ BF / DF / HAADF; IR; Nav-Cam dans la chambre; Mesure du courant de faisceau intégrée.
- Gamme XY: 110 mm; Gamme Z: 65 mm; Plage d'inclinaison: -15 ° à + 90 °.
- Système de vide complet sans huile
- Vide de chambre: <6,3 × 10-6 mbar (après 72 heures de pompage)
- Temps d'évacuation: <3,5 minutes
- Mode faible vide en option: jusqu'à 500 Pa de pression de chambre.
Domaine d’application
Le MEB/FIB est utilisé dans plusieurs domaines tels que les semi-conducteurs, circuits intégrés, supports magnétiques, nanomatériaux, MEMS, optoélectronique, métaux et matériaux composites.
